inficon真空計是一種用于測量高真空度區(qū)域內(nèi)的氣體壓力（空氣密度低到低于大氣壓的范圍內(nèi)）的儀器。其工作原理基于氣體分子與表面之間的碰撞，以及氣體分子在真空條件下的運動特性。

它的種類很多，這些儀器以不同的原理來工作，例如熱電子與陰極陰離子的流動、大流量吸收、容積測壓與振動方式等。不同的真空計具有不同的特點和優(yōu)缺點，可以根據(jù)實際需要選擇合適的儀器。

inficon真空計的基本原理：

包括兩個電極，其中一個電極為陽極（陰極射線管或電子槍），另一個電極為陰極（接收器）。當(dāng)加上高壓電源后，陽極會發(fā)射出電子束，經(jīng)過真空區(qū)域時與氣體分子發(fā)生碰撞，使其電離并生成電子離子對。這些離子對在電場的驅(qū)動下運動，并在陰極表面產(chǎn)生電流。

采用不同的電極結(jié)構(gòu)和電路設(shè)計，真空計可以實現(xiàn)不同的測量范圍和靈敏度。其中，熱陰極真空計利用熱電子發(fā)射的原理，在真空區(qū)域中產(chǎn)生電子，并通過電子與氣體分子的碰撞計算氣體壓力；而冷陰極真空計則通過陰極表面的氣體吸附和解吸來測量氣壓，其靈敏度比熱陰極真空計高，適用于更廣泛的測量范圍。

總之，inficon真空計在許多應(yīng)用中都有廣泛的應(yīng)用，例如太陽能電池、微電子領(lǐng)域的材料研究、半導(dǎo)體加工廠和航空制造廠等。不同的真空計具有不同的測量范圍、體積、靈敏度等特點。因此在選擇和使用真空計時，需要根據(jù)實際情況進(jìn)行評估，以選擇最適合的儀器。