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Keywords：Pilani vacuum gauge, jumo sensor, import terminal
enkobaDescription：公司簡介: enkoba夾具主要產品： 1
公司簡介:
enkoba夾具主要產品：
1. 夾具
2. 夾持系統
3. 負載搬運設備
4. 邊緣夾具
5. 晶圓處理
enkoba夾具產品型號：
l LAM
enkoba夾具產品特點：
enkoba夾具LAM 可以通過 2 種方式連接到手拉葫蘆：
“德馬格銷”用于頻繁從環鏈葫蘆上拆下負載搬運裝置。
德馬格手拉葫蘆也有相應的適配。“德馬格銷”的缺點是不能 - 不應該 - 相對于環鏈葫蘆轉動 LAM，否則懸掛點 =“德馬格 - 銷”和接收叉上的磨損是很大。
“德馬格–攻絲”也無法進行能量傳輸。
enkoba夾具1.1.2 旋轉接頭
enkoba夾具為了能夠相對于手拉葫蘆旋轉旋轉夾具，ENKOBA 開發了一種旋轉饋通裝置，可以使旋轉夾具相對于手拉葫蘆無限旋轉！
enkoba夾具產品應用：
邊緣enkoba夾具晶圓可以按順序從載體中取出或插入載體
將損壞底層晶圓或被顆粒污染的風險降至夾具低
晶圓不會像傳統的邊緣夾具那樣變形。這樣可以避免損壞
借助電動夾爪，路徑、力和速度可自由編程
我們的邊緣夾具的機構也可以由真空驅動
使用這兩種驅動變體，只能移動一個鉗口
晶圓從上方和下方平行夾持，僅在邊緣區域（夾具大 5 毫米）。
邊緣抓手可以與我們開發的腳蹼結合使用。這允許無限的旋轉運動。
旋轉夾具用于抓取原始和機加工的轉向外殼。
轉向器通過氣動夾緊桿固定在中心孔中。然后舵機可以轉動90度。被旋轉。松開時，向夾緊氣缸的壓縮空氣供應中斷，夾緊桿向后旋轉，從而松開工件。
enkoba夾具接觸面用塑料覆蓋，夾緊桿用黃銅夾夾住舵機，這兩種措施都起到保護加工后的舵機的作用。
為了組裝旋轉饋通，必須拆下支撐板（用 2 個沉頭螺釘固定）。
然后將輪轂從基體中轉出。
將輪轂固定在 LAM 上，將基體推到輪轂上，同時旋轉（使密封圈干凈地插入基體）并重新組裝支撐盤。
在組裝過程中，可以/應該在軸承點上涂抹一些潤滑脂。
旋轉饋通的負載能力與旋轉夾具的負載能力相適應 = 50 kg。
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