公司簡介：

GBS mbH的一個產(chǎn)品線是基于白光干涉測量法的微納米結(jié)構(gòu)3-D表面計量，名稱為“smartWLI”

主要產(chǎn)品：

3D 光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D 傳感器

德國gbs 微觀測量光學(xué)3D傳感器產(chǎn)品型號：

smartWLI nanoscan

德國gbs 微觀測量光學(xué)3D傳感器產(chǎn)品介紹：

smartWLI nanoscan 配備了更高的管放大倍率、藍色 LED 照明和 5 MP 攝像頭。這使得傳感器能夠測量橫向尺寸低至約 0.4 μm 的結(jié)構(gòu)，空間采樣低至 0.03 μm。各種支架、花崗巖門戶、振動傾倒系統(tǒng)和自動傾斜裝置可以配置定制的光學(xué) 3d 輪廓儀，使用 smartWLI nanoscan 作為高性能測量的關(guān)鍵組件。SDK 包括 C++ 和 C# 庫以及用于示例應(yīng)用程序的源代碼，允許將傳感器輕松集成到半導(dǎo)體和光學(xué)的測量站中。

德國gbs 微觀測量光學(xué)3D傳感器技術(shù)優(yōu)勢：

高速相機與大量并行數(shù)據(jù)處理相結(jié)合，可以加速數(shù)據(jù)采集和評估過程，并使系統(tǒng)堅固耐用，對振動的敏感度較低。這種加速功能可實現(xiàn)數(shù)個 100 次單次掃描的數(shù)據(jù)采集和拼接，典型循環(huán)時間為 1 個掃描周期。每次掃描 3 秒。數(shù)據(jù)處理包括對比度增強、基于模型的信號校正和數(shù)據(jù)質(zhì)量監(jiān)控，能夠在高坡度區(qū)域拾取微弱信號。

德國gbs 微觀測量光學(xué)3D傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

? 微晶 SiC 表面：多晶 SiC 表面具有特殊的電氣、熱和機械特性，廣泛應(yīng)用于電力電子、光電子、微電子、航空航天和植入物的晶圓表面測量光學(xué)傳感器用途。透明、精細(xì)結(jié)構(gòu)的表面需要對更大面積進行高分辨率測量和評估，以顯著評估表面，評估它們對特定用途的適用性并優(yōu)化制造工藝。測量需要帶有壓電陶瓷和 50 倍物鏡的高分辨率傳感器。

? 微型螺旋樓梯：內(nèi)部使用光學(xué)全息組件的相應(yīng)測試結(jié)構(gòu)來優(yōu)化 EPSI（擴展相移干涉測量）和 HD（高密度）- EPSI。它結(jié)合了高分辨率測量能力、亞納米分辨率和 z 軸上非常大的測量范圍。

主要產(chǎn)品：

3D 光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D 傳感器

德國gbs 微觀測量光學(xué)3D傳感器產(chǎn)品型號：

smartWLI nanoscan

德國gbs 微觀測量光學(xué)3D傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

? 微晶 SiC 表面：多晶 SiC 表面具有特殊的電氣、熱和機械特性，廣泛應(yīng)用于電力電子、光電子、微電子、航空航天和植入物的晶圓表面測量光學(xué)傳感器用途。透明、精細(xì)結(jié)構(gòu)的表面需要對更大面積進行高分辨率測量和評估，以顯著評估表面，評估它們對特定用途的適用性并優(yōu)化制造工藝。測量需要帶有壓電陶瓷和 50 倍物鏡的高分辨率傳感器。

? 微型螺旋樓梯：內(nèi)部使用光學(xué)全息組件的相應(yīng)測試結(jié)構(gòu)來優(yōu)化 EPSI（擴展相移干涉測量）和 HD（高密度）- EPSI。它結(jié)合了高分辨率測量能力、亞納米分辨率和 z 軸上非常大的測量范圍。