公司簡介：

GBS mbH的一個產品線是基于白光干涉測量法的微納米結構3-D表面計量，名稱為“smartWLI”

主要產品：

3D 光學輪廓儀、光學3D 傳感器

德國gbs 微觀測量光學3D傳感器產品型號：

smartWLI nanoscan

德國gbs 微觀測量光學3D傳感器產品介紹：

smartWLI nanoscan 配備了更高的管放大倍率、藍色 LED 照明和 5 MP 攝像頭。這使得傳感器能夠測量橫向尺寸低至約 0.4 μm 的結構，空間采樣低至 0.03 μm。各種支架、花崗巖門戶、振動傾倒系統和自動傾斜裝置可以配置定制的光學 3d 輪廓儀，使用 smartWLI nanoscan 作為高性能測量的關鍵組件。SDK 包括 C++ 和 C# 庫以及用于示例應用程序的源代碼，允許將傳感器輕松集成到半導體和光學的測量站中。

德國gbs 微觀測量光學3D傳感器技術優勢：

高速相機與大量并行數據處理相結合，可以加速數據采集和評估過程，并使系統堅固耐用，對振動的敏感度較低。這種加速功能可實現數個 100 次單次掃描的數據采集和拼接，典型循環時間為 1 個掃描周期。每次掃描 3 秒。數據處理包括對比度增強、基于模型的信號校正和數據質量監控，能夠在高坡度區域拾取微弱信號。

德國gbs 微觀測量光學3D傳感器應用領域：

? 微晶 SiC 表面：多晶 SiC 表面具有特殊的電氣、熱和機械特性，廣泛應用于電力電子、光電子、微電子、航空航天和植入物的晶圓表面測量光學傳感器用途。透明、精細結構的表面需要對更大面積進行高分辨率測量和評估，以顯著評估表面，評估它們對特定用途的適用性并優化制造工藝。測量需要帶有壓電陶瓷和 50 倍物鏡的高分辨率傳感器。

? 微型螺旋樓梯：內部使用光學全息組件的相應測試結構來優化 EPSI（擴展相移干涉測量）和 HD（高密度）- EPSI。它結合了高分辨率測量能力、亞納米分辨率和 z 軸上非常大的測量范圍。

主要產品：

3D 光學輪廓儀、光學3D 傳感器

德國gbs 微觀測量光學3D傳感器產品型號：

smartWLI nanoscan

德國gbs 微觀測量光學3D傳感器應用領域：

? 微晶 SiC 表面：多晶 SiC 表面具有特殊的電氣、熱和機械特性，廣泛應用于電力電子、光電子、微電子、航空航天和植入物的晶圓表面測量光學傳感器用途。透明、精細結構的表面需要對更大面積進行高分辨率測量和評估，以顯著評估表面，評估它們對特定用途的適用性并優化制造工藝。測量需要帶有壓電陶瓷和 50 倍物鏡的高分辨率傳感器。

? 微型螺旋樓梯：內部使用光學全息組件的相應測試結構來優化 EPSI（擴展相移干涉測量）和 HD（高密度）- EPSI。它結合了高分辨率測量能力、亞納米分辨率和 z 軸上非常大的測量范圍。