inficon真空計是利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計。
測量真空度的裝置稱為真空計，inficon真空計的壓強(qiáng)敏感元件稱為規(guī)頭。某些真空計可直接測量氣體總壓強(qiáng)，某些真空計雖然也給出壓強(qiáng)讀數(shù)，而實際測量的是氣體分子密度，測量結(jié)果與環(huán)境溫度有關(guān)。當(dāng)容器中同時存在多種氣體成分時，容器中氣體總壓強(qiáng)等于各氣體分壓強(qiáng)之和。總壓強(qiáng)測量方法可分為直接法和間接法兩種。直接法利用液柱差、機(jī)械變形等原理直接測量壓強(qiáng)，包括液位壓強(qiáng)計、壓縮式真空計、彈性元件真空計等。根據(jù)前兩種儀器測出的物理量可算出壓強(qiáng)值，屬于絕對真空計。間接法利用氣體某些物理性質(zhì)（如熱傳導(dǎo)、粘滯性、電離及光散射效應(yīng)等）來測量壓強(qiáng)，包括熱傳導(dǎo)真空計、粘滯真空計及電離真空計等。在真空技術(shù)中使用的真空計絕大多數(shù)采用間接法，這些真空計必須用絕對真空計或其他方法校準(zhǔn)。對于用間接法測量的真空計，由于不同種類氣體的物理性質(zhì)不同，即使在相同壓強(qiáng)下，壓強(qiáng)讀數(shù)也隨氣體而異，因此要用相應(yīng)的氣體來校準(zhǔn)。當(dāng)被測氣體不是單一成分時，這些真空計的讀數(shù)的含義較為復(fù)雜。由于一般真空計校準(zhǔn)時所采用的氣體是純氮，因此這些真空計的讀數(shù)在未經(jīng)氣體種類修正之前統(tǒng)稱為等效氮壓強(qiáng)。當(dāng)被測空間包含多種氣體成分時，只有通過分壓強(qiáng)測量才能精確地反映容器中的真空狀態(tài)和總壓強(qiáng)。
inficon真空計應(yīng)該注意哪些問題？
1、首先應(yīng)根據(jù)待測量的對象選擇適當(dāng)量程的壓縮式真空計，以保證較高的測量精度。
2、壓縮式真空計在裝入水銀之前，要對壓縮式真空計和水銀分別進(jìn)行嚴(yán)格的清洗處理。
對壓縮式真空計的清洗方法是：先用清潔水充分沖洗，再將重鉻酸鉀與濃硫酸的飽和溶液灌入真空計中。為使溶液能進(jìn)入到毛細(xì)管中去，需先用真空泵進(jìn)行抽空再將溶液壓入毛細(xì)管中，至少需要浸泡24h以上。經(jīng)過浸泡后的真空計再用蒸餾水多次清洗，用經(jīng)過真空蒸餾的水銀裝入壓縮式真空計。
3、在進(jìn)行測量時，提升水銀要緩慢平穩(wěn)，嚴(yán)禁振動，當(dāng)水銀面接近玻璃泡與毛細(xì)管過渡截面時，要稍停一會再提升水銀，以免水銀將毛細(xì)管沖破造成事故。另外在水銀面接近基準(zhǔn)線時更要平穩(wěn)地對準(zhǔn)基準(zhǔn)線，以減小測量誤差。
4、在做較高精度測量時，目測不能滿足要求，應(yīng)采用測高儀進(jìn)行讀數(shù)。
5、在使用壓縮式真空計的場所，要采取防止水銀污染的措施，免得造成公害及損害工作人員的健康。